科学仪器
SBC-12 小型离子溅射仪
产品特点
- 特殊密封结构，玻璃不易损坏
- 操作方便，无需培训即可使用
- 维护成本低，无需上门安装
应用领域
本仪器主要适用于扫描电镜镀覆导电膜，仪器操作简单方便，是样品制备所必备的仪器。适用的靶材：金、铂、铬、银、钛、铜、镍、金钯合金等。
- 技术指标
- 尺寸
- 产品特性
- 配件
- 下载
- 真空系统
- 两级直联旋片真空泵
- 真空检测
- 皮氏计
- 真空保护
- 配有微量充气阀，用于调节离子流的大小
- 工作气体
- 空气或氩气
- 工作腔室：内径Ф100 x 130毫米
- 载物台：小载物台直径Ф40毫米, 可同时放六个样品杯；大载物台直径Ф60毫米
- 金靶尺寸：Ф58毫米
| 文件名 | 类型 | 语言 | 日期 | 文件大小 |